据财联社报道,近日,全国首台国产商业化电子束光刻机在杭州正式亮相,该设备由浙江大学余杭量子研究院自主研发,型号为"羲之",已完成研发并进入应用测试阶段.

"羲之"源于中国古代书法家王羲之,只不过毛笔是电子束,在芯片上刻写电路.

据介绍,该设备是一款新一代100kV电子束光刻机,外观酷似大型钢柜,专攻量子芯片\新型半导体研发的核心环节.

可通过高能电子束在硅基上"手写"电路,精度可达0.6纳米\线宽仅8纳米,精度比肩国际主流设备,并且无需掩模版,可多次修改设计.

团队负责人表示："芯片研发初期会设计很多版型\图案,常常需要一条线一条线进行修改,电子束光刻机精度高\'书写'便捷,极大提升了芯片研发初期反复调试的效率."

此前,先进电子束光刻机类设备受国际出口管制,国内顶尖科研机构和企业长期无法采购,"羲之"的落地彻底打破这一困局,目前已与国内企业及多家科研机构展开接洽.

与传统光刻机相比,电子束光刻机在原型设计\快速迭代和小批量试制方面具有独特优势.